【48812】崇德科技：已进行气浮主轴研制立项研制高精高速电机和高精气浮轴体系并逐渐产业化

  金融界7月2日音讯，有投入资金的人在互动渠道向崇德科技发问：敬重的董秘，气浮主轴作为光刻机的核心部件，公司加大这方面的研制是否要助力我国光刻机的开展？

  公司答复表明：公司前期现已进行研制立项，将高速电机关键技能和高精气浮轴承技能集成，在“静压气浮轴承气浮高精高速电机”研制进行了要点投入，现已与欧美相关抢先公司进行协作。正在研制1.5kw-2.4kw用于晶圆切开的划片机主轴体系，4.2kw-11kw 硅片及碳化硅高精气浮主轴体系和无油高速气浮电机，并将逐渐产业化。一起公司也与国内的划片机和晶圆减薄机的要点企业建立了杰出的协作伙伴关系。